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硅片熱處理的意義及用到的熱處理回轉(zhuǎn)窯

發(fā)布日期:2022-12-06 13:53:38 瀏覽次數(shù):127

硅片退火熱處理處理,是工藝的一個環(huán)節(jié)。是按一定的程序?qū)杵M行升溫、降溫......的過程;
為什么要進行退火?原因之一是,硅片中含有氧,氧有吸取雜質(zhì)的作用。退火時可以將硅片表面附近的氧,從其表面揮發(fā)脫除,使表面附近的雜質(zhì)數(shù)量減少。有利于器件的制造。

下面介紹下我公司的硅片熱處理回轉(zhuǎn)窯設(shè)備


產(chǎn)品名稱:硅片處理回轉(zhuǎn)爐 硅片熱處理回轉(zhuǎn)窯 硅片燒結(jié)回轉(zhuǎn)爐

一、概述

  硅片燒結(jié)爐,中式連續(xù)式生產(chǎn)型回轉(zhuǎn)窯爐主要用于CVD實驗,也運用于冶金,玻璃,熱處理,鋰電正負(fù)極材料,新能源,磨具等行業(yè)測定材料在一定氣氛條件下的專業(yè)設(shè)備。旋轉(zhuǎn)管式爐和傳統(tǒng)的馬弗爐相比,它的最大優(yōu)點在于爐管是轉(zhuǎn)動的,物樣在加工過程中,不停地翻動。因此加工質(zhì)量好,效率高,并且取得的實驗數(shù)據(jù)較接近于生產(chǎn)狀態(tài)。由于可以連續(xù)出料,所以加工大量物樣時,更能顯示其優(yōu)越性。另外旋轉(zhuǎn)回轉(zhuǎn)窯爐管的兩端采取了密封措施,所以在使用過程中還可通入氧化,還原等必要的氣氛。

二、中式連續(xù)式生產(chǎn)型回轉(zhuǎn)窯爐型號規(guī)格:

設(shè)備型號爐膛尺寸(mm)溫度(℃)額定功率(KW)電壓(V)
BLHG系列φ120*2000-25001100-16008-16380
BLHG系列φ160*2500-30001100-160012-30380
BLHG系列φ220*2500-40001100-160015-40380
BLHG系列φ270*2500-50001100-160020-50380
BLHG系列φ320*2500-60001100-160030-60380
BLHG系列φ370*3000-7000110030-70380
BLHG系列φ400*3000-8000110040-80380
BLHG系列φ450*4000-9000110050-100380
BLHG系列φ500*5000-9000110060-110380
BLHG系列φ550*5000-9000110070-120380
BLHG系列φ600*5000-10000110080-160380
BLHG系列φ650*5000-120001100100-240380
BLHG系列φ700*6000-120001100140-280380

注:硅片熱處理回轉(zhuǎn)窯爐可根據(jù)用戶要求另行設(shè)計制造,更多規(guī)格及參數(shù)和詳細(xì)技術(shù)方案請來電咨詢!  中式連續(xù)式生產(chǎn)型回轉(zhuǎn)窯有單管、雙管、臥式、可開啟式、立式、單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等多種管式爐型。具有安全可靠、操作簡單、控溫正確度高、保溫效果好、溫度范圍大、爐膛溫度均勻性高、溫區(qū)多、可選配氣氛、抽真空爐型等。聯(lián)系電話18888033558吳經(jīng)理!


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