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硅片退火熱處理處理,是工藝的一個環(huán)節(jié)。是按一定的程序?qū)杵M行升溫、降溫......的過程;
為什么要進行退火?原因之一是,硅片中含有氧,氧有吸取雜質(zhì)的作用。退火時可以將硅片表面附近的氧,從其表面揮發(fā)脫除,使表面附近的雜質(zhì)數(shù)量減少。有利于器件的制造。
下面介紹下我公司的硅片熱處理回轉(zhuǎn)窯設(shè)備
產(chǎn)品名稱:硅片處理回轉(zhuǎn)爐 硅片熱處理回轉(zhuǎn)窯 硅片燒結(jié)回轉(zhuǎn)爐
一、概述
硅片燒結(jié)爐,中式連續(xù)式生產(chǎn)型回轉(zhuǎn)窯爐主要用于CVD實驗,也運用于冶金,玻璃,熱處理,鋰電正負(fù)極材料,新能源,磨具等行業(yè)測定材料在一定氣氛條件下的專業(yè)設(shè)備。旋轉(zhuǎn)管式爐和傳統(tǒng)的馬弗爐相比,它的最大優(yōu)點在于爐管是轉(zhuǎn)動的,物樣在加工過程中,不停地翻動。因此加工質(zhì)量好,效率高,并且取得的實驗數(shù)據(jù)較接近于生產(chǎn)狀態(tài)。由于可以連續(xù)出料,所以加工大量物樣時,更能顯示其優(yōu)越性。另外旋轉(zhuǎn)回轉(zhuǎn)窯爐管的兩端采取了密封措施,所以在使用過程中還可通入氧化,還原等必要的氣氛。
二、中式連續(xù)式生產(chǎn)型回轉(zhuǎn)窯爐型號規(guī)格:
設(shè)備型號 | 爐膛尺寸(mm) | 溫度(℃) | 額定功率(KW) | 電壓(V) |
BLHG系列 | φ120*2000-2500 | 1100-1600 | 8-16 | 380 |
BLHG系列 | φ160*2500-3000 | 1100-1600 | 12-30 | 380 |
BLHG系列 | φ220*2500-4000 | 1100-1600 | 15-40 | 380 |
BLHG系列 | φ270*2500-5000 | 1100-1600 | 20-50 | 380 |
BLHG系列 | φ320*2500-6000 | 1100-1600 | 30-60 | 380 |
BLHG系列 | φ370*3000-7000 | 1100 | 30-70 | 380 |
BLHG系列 | φ400*3000-8000 | 1100 | 40-80 | 380 |
BLHG系列 | φ450*4000-9000 | 1100 | 50-100 | 380 |
BLHG系列 | φ500*5000-9000 | 1100 | 60-110 | 380 |
BLHG系列 | φ550*5000-9000 | 1100 | 70-120 | 380 |
BLHG系列 | φ600*5000-10000 | 1100 | 80-160 | 380 |
BLHG系列 | φ650*5000-12000 | 1100 | 100-240 | 380 |
BLHG系列 | φ700*6000-12000 | 1100 | 140-280 | 380 |
注:硅片熱處理回轉(zhuǎn)窯爐可根據(jù)用戶要求另行設(shè)計制造,更多規(guī)格及參數(shù)和詳細(xì)技術(shù)方案請來電咨詢! 中式連續(xù)式生產(chǎn)型回轉(zhuǎn)窯有單管、雙管、臥式、可開啟式、立式、單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等多種管式爐型。具有安全可靠、操作簡單、控溫正確度高、保溫效果好、溫度范圍大、爐膛溫度均勻性高、溫區(qū)多、可選配氣氛、抽真空爐型等。聯(lián)系電話18888033558吳經(jīng)理!