電阻爐（真空氣氛爐、真空爐）真空系統(tǒng)包括真空泵、真空閥門、真空儀表、爐腔和真空管路，真空系統(tǒng)的檢查主要由操作人員完成，在工作中做好以下日常檢查工作：

（1）       對機械泵的檢查是暫不打開止氣電磁閥，先讓泵運行起來真空管抽一段時間，觀察真空泵運行過程中的聲音及泵體振動變化情況。

（2）       產(chǎn)期不用的泵每周至少運行一次，在空載的情況下運行1-2小時左右，檢查泵體是否漏油。對于帶有氣鎮(zhèn)閥的機械泵，可短時間打開氣鎮(zhèn)閥。

（3）       真空泵油需要定期更換。真空泵運行時，應(yīng)注意觀察油位及油色的變化。正常情況下，泵油應(yīng)透明，并成淡黃色，如果油的上部出現(xiàn)白色渾濁現(xiàn)象，說明有水汽或有機溶劑進(jìn)入真空泵，解決的辦法有兩個，一是更換泵油；而是根據(jù)實際情況可將氣鎮(zhèn)閥門打開一段時間，如果還不能恢復(fù)正常油色，說明泵油已經(jīng)乳化變質(zhì)，只有更換了。

（4）       對真空閥門、爐腔和真空管路要定期進(jìn)行漏氣檢查，按要求定期更換密封圈。檢查電磁閥開啟是否正常，各個連接部分，比如法蘭、螺栓是否存在松動等現(xiàn)象。

（5）       對于與爐腔有關(guān)聯(lián)部件要保持清潔，爐內(nèi)一旦臟化要進(jìn)行清潔處理，為使?fàn)t內(nèi)保持干燥氣氛，清潔后需要烘爐。

（6）       羅茨泵、機械泵工作時產(chǎn)生振動，會造成設(shè)備的緊固件（如螺栓）松動，每隔2-3個月將設(shè)備的螺栓重新緊一遍。

（7）       檢查真空規(guī)管和測量儀表是否到了校驗期，規(guī)管的安裝及密封是否發(fā)生了變化。

（8）       檢查機械泵排氣口有無堵塞，排氣管道是否暢通，否則會引起泵內(nèi)壓力過高，導(dǎo)致密封損壞或噴油。

（9）       檢查機械泵的止氣電磁閥的動作，正常情況下，機械泵停止時電磁閥自動關(guān)閉，避免返油的發(fā)生。

（10）   檢查擴散泵加熱器有無斷路故障。

（11）   檢查泵用冷卻水、冷阱用冷卻水是否暢通，管路的水壓開關(guān)和流量繼電器動作是否正常。

（12）   檢查氣動真空閥門或電磁真空閥門的工作情況，有無動作不靈活和卡死現(xiàn)象。

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