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電阻真空計(jì)的校準(zhǔn)
電阻規(guī)管受制造材料、工藝、裝配等方面因素的影響,同型號(hào)中不同電阻規(guī)管的性能有所差異。因此,在使用新的電阻規(guī)管時(shí)需對(duì)真空計(jì)進(jìn)行零點(diǎn)和滿度的校準(zhǔn),以降低測(cè)量誤差。另外真空計(jì)使用一段時(shí)間,或者是環(huán)境溫度變化較大,使真空計(jì)在大氣測(cè)量狀態(tài)下,顯示值不為105Pa,也要進(jìn)行零點(diǎn)和滿度的校準(zhǔn)。電阻真空計(jì)都有零點(diǎn)校準(zhǔn)及滿度校準(zhǔn)按鍵或旋鈕,按照說(shuō)明書要求進(jìn)行調(diào)校。一般先校準(zhǔn)零點(diǎn),再進(jìn)行滿度校準(zhǔn)。
(1)校準(zhǔn)零點(diǎn)。校準(zhǔn)零點(diǎn)需對(duì)被測(cè)真空系統(tǒng)抽真空,一旦電離規(guī)測(cè)得真空度高于1.0-1P?。ㄈ?.9*10-2Pa),按“校零”按鈕,對(duì)應(yīng)指示燈亮或快速閃爍,真空計(jì)自動(dòng)校正零點(diǎn),當(dāng)顯示1.0-1Pa時(shí),表示規(guī)管零點(diǎn)已校準(zhǔn)。對(duì)于無(wú)自動(dòng)零點(diǎn)校準(zhǔn)的電阻真空計(jì),可通過(guò)操作面板上的電位器旋鈕手動(dòng)調(diào)整。
(2)滿度校正。校準(zhǔn)完零點(diǎn)后,需對(duì)其滿度校正。按滿度校正過(guò)程要求,對(duì)被測(cè)爐腔放入大氣,確保被校電阻規(guī)所測(cè)位置為大氣狀態(tài),在大氣壓下工作約10分鐘。按“滿度”按鈕,對(duì)應(yīng)指示燈亮或快速閃爍,真空計(jì)自動(dòng)校正滿度,當(dāng)顯示1.05Pa時(shí),表示規(guī)管滿度已校準(zhǔn)。對(duì)于無(wú)自動(dòng)滿度校準(zhǔn)的電阻真空計(jì),可通過(guò)操作面板上的電位器旋鈕手動(dòng)調(diào)整。
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