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測量低于大氣壓的氣體壓強的工具稱為真空計,真空計可以直接測量氣體的壓強,也可以通過與壓強有關的物理量來間接測量壓強。前者稱為絕對真空計,后者稱為相對真空計。按真空計的不同原理和結構可以分為以下幾類。 (1)靜態(tài)變形真空計,利用與真空相連的容器表面上受到大氣壓的作用,以產生彈性變形來測量壓強。 (2)靜態(tài)液體真空計,利用U形管兩端的頁面差來測量壓強。 (3)壓縮式真空計,在U形管基礎上,應用波義耳定律,即將一定的氣體經(jīng)過壓縮,使其壓強增加,根據(jù)體積和壓強的關系計算出被測氣體的壓強。此類真空計使用普遍,是一種絕對真空計。 (4)熱傳導真空計,利用真空中氣體分子多少與熱傳導有關的原理,常用的有電阻真空計和熱偶真空計。 (5)電離真空計,其原理是利用氣體稀薄時的電離現(xiàn)象,以離子電流與氣體壓強成正比測量離子電流,即可間接測出氣體的壓強。 (6)氣體放電真空指示器,利用氣體輝光放電的輝光厚度或顏色與壓強有關的性質做指示器。此指示器僅能定性測量。