有色金屬合金真空爐熔煉在低于常壓直至高真空(從小于100kPa至1.3×10-10Pa)條件下進行的有色金屬熔煉和鑄錠過程。是生產難熔、稀有和活性金屬材料，也是獲得高純度、高質量金屬材料的重要現代熔煉技術。1917年真空熔煉開始從實驗室過渡到工廠規(guī)模，當時只能少量熔煉鎳基合金、熱電偶材料及電阻發(fā)熱材料。第二次世界大戰(zhàn)期間及戰(zhàn)后，隨著真空技術的發(fā)展和軍事工業(yè)及現代科學技術對高性能新型金屬材料的需要，真空熔煉得到了迅速發(fā)展。20世紀50年代鈦材開始大量生產。70年代便有容量數十噸以至上百噸的真空熔煉設備，現在已發(fā)展成為配備現代技術裝備的特種材料重要生產部門。真空熔煉由于提純作用強、雜質易揮發(fā)、去氣效果好、脫氧能力強、部分氮化物及氫化物可熱分解，一些在大氣下不能進行的化學反應也能進行，特別是有氣體產物形成的反應，所以能夠得到純潔度高、材質均勻、含氣量低、雜質少、缺陷少、加工性能優(yōu)良的金屬材料。原子能工業(yè)用的高純鋇、鉿、釩及釷、高溫合金、熱電合金和磁性材料、活性金屬鈦和鋯、難熔金屬鎢、鉬、鉭、鈮及電真空用的銅、鎳合金都是用真空重熔法生產的。主要真空熔煉設備和方法有真空感應爐熔煉、真電弧爐熔煉(見有色金屬合金真空電弧爐熔煉)和電子束爐熔煉3種。

真空感應爐熔煉，是把感應器和坩堝置于真空中，在1.3×10-2～1.3×10-3Pa真空下熔煉，用于生產高溫和精密合金。電子束爐熔煉是在高真空下(1.3×10-1～1.3×10-5Pa)用一個或數個電子槍發(fā)射電子束，轟擊被熔物體使之熔化滴入水冷銅結晶器凝成錠。電子束爐熔煉適用于超純金屬及難熔金屬的熔煉。