真空爐一般由爐子、電加熱裝置、密封爐殼、真空系統(tǒng)、供電系統(tǒng)和溫控系統(tǒng)組成。密封爐殼采取碳鋼或不銹鋼焊接，可拆卸部件的結(jié)合面采取真空密封材料密封。為了防止殼體受熱后變形和密封材料變質(zhì)，通常采取水冷或風(fēng)冷的方法對(duì)殼體進(jìn)行冷卻。熔爐位于密封外殼中。依據(jù)加熱爐的用途，爐內(nèi)安頓了電阻、感應(yīng)線圈、電極、電子槍等差別類型的加熱元件，熔煉金屬的真空爐的爐內(nèi)裝有坩堝，有的配有主動(dòng)澆注裝置和裝卸機(jī)械手。真空系統(tǒng)主要由真空泵、真空閥和真空表組成。

20世紀(jì)50年代，無芯感應(yīng)爐成長(zhǎng)迅速。然后是電子束爐，它操作電子束對(duì)固體燃料進(jìn)行沖擊，可以加強(qiáng)高熔點(diǎn)材料的外面加熱和熔化。最早用于鑄造加熱的爐是手工鑄造爐。它的工作空間是一個(gè)布滿煤的凹形槽。燃燒用空氣由槽下部供應(yīng)，工件埋在煤中加熱。這種爐熱效率低，加熱質(zhì)量差。它只能加熱小工件。后來，它成長(zhǎng)成為一個(gè)半封閉或全封閉的耐火磚室爐。它可以用煤、煤氣或石油作燃料，也可以用電作熱源。工件在爐中加熱。

為了方便大型工件的加熱，研制了適合鋼錠和大坯料加熱的臺(tái)車式加熱爐，并研制了適合長(zhǎng)型材加熱的井式加熱爐。20世紀(jì)20年代以后，涌現(xiàn)了各類能提高生產(chǎn)率和勞動(dòng)條件的機(jī)械化和主動(dòng)化爐型。隨著燃料資源的開發(fā)和燃料轉(zhuǎn)化技術(shù)的提高，工業(yè)爐的燃料逐漸由塊煤、焦炭、煤粉等固體燃料向發(fā)生爐煤氣、城市煤氣、天然氣、柴油、燃料油等氣體和液體燃料轉(zhuǎn)變，開發(fā)了各類適合于燃料的燃燒裝置。